| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | plutao.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | J8LNKAN8RW/34BESM6 |
| Repositório | dpi.inpe.br/plutao@80/2008/12.04.12.38.01 (acesso restrito) |
| Última Atualização | 2015:04.17.19.42.36 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | dpi.inpe.br/plutao@80/2008/12.04.12.38.02 |
| Última Atualização dos Metadados | 2021:03.04.02.45.36 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE--PRE/ |
| DOI | 10.1109/TPS.2008.2004229 |
| ISSN | 0093-3813 |
| Rótulo | lattes: 7698697775899601 1 OliveiraUedRosDiaBab:2008:&lImIo |
| Chave de Citação | OliveiraUedRosDiaBab:2008:PlImIo |
| Título | Plasma Immersion Ion Implantation With Lithium Atoms  |
| Ano | 2008 |
| Mês | Oct. |
| Data de Acesso | 06 maio 2024 |
| Tipo de Trabalho | journal article |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 424 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Oliveira, Rogério de Moraes 2 Ueda, Mário 3 Rossi, José Osvaldo 4 Diaz, Beatriz 5 Baba, Koumei |
| Grupo | 1 LAP-CTE-INPE-MCT-BR 2 LAP-CTE-INPE-MCT-BR 3 LAP-CTE-INPE-MCT-BR 4 LAS-CTE-INPE-MCT-BR |
| Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 5 Industrial Technology Center of Nagasaki |
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 rogerio@plasma.inpe.br 2 ueda@plasma.inpe.br 3 rossi@plasma.inpe.br 4 beatriz@las.inpe.br |
| Endereço de e-Mail | rogerio@plasma.inpe.br |
| Revista | IEEE Transactions on Plasma Science |
| Volume | 36 |
| Número | 5 |
| Páginas | 2572-2576 |
| Nota Secundária | A_ENGENHARIAS_II A_ENGENHARIAS_III A_INTERDISCIPLINAR B_ASTRONOMIA_/_FÍSICA |
| Histórico (UTC) | 2008-12-04 16:12:42 :: lattes -> simone :: 2008-12-17 16:29:37 :: simone -> administrator :: 2010-05-12 02:52:21 :: administrator -> simone :: 2010-07-07 18:38:53 :: simone -> marciana :: 2011-05-24 00:17:10 :: marciana -> administrator :: 2008 2021-03-04 02:45:36 :: administrator -> marciana :: 2008 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Tipo de Versão | publisher |
| Palavras-Chave | lithium ion implantation |
| Resumo | A new method was developed to produce lithium plasma for plasma immersion ion implantation. Initially, an argon glow discharge with operation pressure ranging from 2 × 10−1 to 1 mbar is generated by negatively polarizing an electrode from −400 to −1500 V. Small pieces of metallic lithium that are 99.9% pure fill the top of a conic crucible, with a depth of 2 cm, in electric contact with the electrode. Argon ions from the plasma are used to bombard this target, where heat is created by the momentum transfer from the impacting ions to the crucible. By controlling the operation pressure and the electrode voltage polarization, it is possible to easily heat the crucible to temperatures above the lithium melting point (180 ◦C), causing its evaporation. Lithium atoms are then ionized, mainly due to collisions, with argon ions moving toward the crucible. Double Langmuir probe measurements indicated variation in the density of the discharge from 4 × 109 cm−3 to 1010 cm−3 after lithium evaporation. Silicon wafer pieces immersed in this mixed plasma were submitted to repetitive negative high-voltage pulses (3 kV/6 μs/2.5 kHz) to accelerate plasma ions. High strain in the treated layers was measured by high-resolution X-ray diffraction. Photoluminescence intensity increased after annealing. X-ray photoelectron spectrometry measurement revealed lithium implantation in silicon with an atomic concentration of 78% on the top surface and a penetration depth of about 75 nm. |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Plasma Immersion Ion... |
| Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Plasma Immersion Ion... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| Idioma | en |
| Grupo de Usuários | lattes simone administrator marciana |
| Grupo de Leitores | administrator marciana |
| Visibilidade | shown |
| Política de Arquivamento | denypublisher allowfinaldraft |
| Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
| Permissão de Atualização | não transferida |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.24.19.30 1 sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 1 |
| URL (dados não confiáveis) | http://ieeexplore.ieee.org |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES. |
| Acervo Hospedeiro | dpi.inpe.br/plutao@80/2008/08.19.15.01 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel format isbn lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate session shorttitle sponsor subject targetfile tertiarymark tertiarytype |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
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